La preparació i processament deObjectius de zirconiImpliqueu diversos passos, inclosa la preparació de matèries primeres, la preparació de blancs objectiu, el processament en materials objectiu i el tractament abans de la transmissió de magnetrons. El procés específic és el següent:
Preparació de matèries primeres: Utilitzeu pols de zirconi pur o en pols d’aliatge de zirconi com a matèries primeres, i la puresa sol ser superior o igual al 99,9%. Si s’utilitza pols d’aliatge, s’han de barrejar diferents proporcions de pols de zirconi i en pols d’aliatge segons la proporció dissenyada.
Premeu: la pols mixta es prem en un blanc per una màquina de prémer. Els mètodes de formació d'ús comú inclouen premsat isostàtic fred (CIP) i premsat isostàtic calent (maluc). La premsa isostàtica freda és adequada per a la premsa de baixa temperatura i és adequat per a la premsada directa de la pols; La premsa isostàtica calenta és adequada per a la premsa a alta temperatura, cosa que pot eliminar encara més els porus i les impureses en pols i millorar la densitat.
Sintering: el blanc premsat es sinteritza a alta temperatura, normalment per premsat isostàtic calent (maluc). Cal ajustar la temperatura i el temps de sinterització segons els requisits específics del material i del procés, normalment per sobre dels 1500 graus. Durant el procés de sinterització, cal controlar l’atmosfera per evitar l’oxidació i la contaminació.
Acabat: el blanc sinteritzat es processa a la forma de destinació desitjada, com ara un disc, mitjançant mètodes de processament mecànic com el gir, el fresat i la mòlta. Utilitzeu equips de processament d’alta precisió per assegurar la precisió dimensional i la qualitat de la superfície de l’objectiu.
Tractament superficial: L’objectiu processat està sotmès a tractament superficial com ara polit o polit químic per millorar l’acabat superficial i la uniformitat. La neteja d’ultrasons i la neteja química s’utilitzen per eliminar les impureses i els òxids a la superfície.
Inspecció de qualitat: L’objectiu de zirconi preparat està sotmès a inspecció de qualitat, incloent precisió dimensional, rugositat superficial, composició química, densitat, etc. Utilitzeu la difracció de raigs X (XRD), el microscopi electrònic d’escaneig (SEM) i altres equips per a la inspecció.
Target de Zirconium Detalls de la imatge de la imatge
