Els objectius de tungstè s'utilitzen àmpliament en molts camps, incloent-hi principalment la fabricació de semiconductors, dispositius de font de neutrons d'espal·lació, processos de fotolitografia, tecnologia de deposició de pel·lícules primes, dispositius de fusió nuclear, etc.
Aplicació en la fabricació de semiconductors
En la fabricació de semiconductors, els objectius de tungstè s'utilitzen principalment en processos de fotolitografia i tecnologia de deposició de pel·lícules primes. L'alta densitat, l'alta duresa i la baixa reactivitat química dels objectius de tungstè els permeten proporcionar un control precís de gravat durant el gravat per plasma, reduir la pèrdua de material innecessària i garantir la finesa i la integritat dels patrons de circuit. En la tecnologia de deposició de pel·lícules primes, els objectius de tungstè es formen en pel·lícules denses mitjançant la deposició física de vapor (PVD) i la deposició química de vapor (CVD). Aquestes pel·lícules tenen una gran duresa i resistència al desgast, que milloren la resistència mecànica i la durabilitat dels dispositius semiconductors. Al mateix temps, la seva alta conductivitat i baixa impedància ajuden a millorar l'eficiència de la conducció actual i reduir el consum d'energia.
Aplicació en fonts de neutrons d'espal·lació
Els objectius de tungstè també tenen un paper clau en els dispositius font de neutrons d'espal·lació. Les fonts de neutrons d'espal·lació produeixen neutrons bombardejant nuclis atòmics pesats amb protons d'alta energia, que s'utilitzen per estudiar la microestructura i les propietats dinàmiques de la matèria. El tungstè s'ha convertit en el material preferit per als dispositius de fusió nuclear i les fonts de neutrons d'espal·lació a causa del seu alt punt de fusió, alta conductivitat tèrmica i baixa taxa de sputtering. Les fonts de neutrons d'espal·lació poden proporcionar un espectre d'energia de neutrons més ampli, ampliant l'abast de la investigació científica dels neutrons, especialment en la investigació de la ciència dels materials. L'aplicació d'objectius de tungstè fa possible estudiar els materials d'emmagatzematge d'hidrogen, les lleis de reacció de les bateries i desenvolupar nous materials.