Objectius de tàntalgeneralment es presenten en forma de discos o plaques rectangulars, però també es poden fer en una varietat de formes i mides en funció dels requisits específics de l'aplicació. Les seves principals característiques estructurals inclouen:
Alta puresa: normalment més del 99,9%, de vegades fins i tot fins al 99,999%. L'alta puresa garanteix que no s'introdueixin impureses no desitjades durant el procés de deposició de pel·lícula fina.
Uniformitat: els objectius de tàntal han de tenir una microestructura uniforme per garantir una distribució uniforme del material durant la deposició de pel·lícula fina.
Alta densitat: la uniformitat de la densitat és fonamental per garantir l'estabilitat durant la deposició.









