ZhenAn, Quins són els mètodes bàsics que s'utilitzen habitualment per a les proves de gra de material objectiu?

ZhenAn, quins són els mètodes bàsics que s'utilitzen habitualment per a les proves de gra de material objectiu?

Els materials objectiu són típicament policristalins, amb mides de gra que van des de micres fins a mil·límetres. Com més fins siguin els grans, més gran serà l'àrea del límit del gra i més gran serà l'impacte en el rendiment. Per al mateix material objectiu, els objectius amb grans fins tenen una velocitat de pulverització més ràpida que els objectius amb grans gruixuts. Els objectius amb variacions de mida de gra més petites (distribució uniforme) produeixen distribucions de gruix més uniformes a les pel·lícules polveritzades. La investigació ha descobert que si la mida del gra d'un objectiu de titani es controla per sota dels 100 μm i la variació de la mida del gra es manté dins del 20%, es pot millorar la qualitat de la pel·lícula sputtered resultant. Millora significativa.

Tres mètodes bàsics per a la prova de la mida del gra objectiu
1. Mètode de comparació: el mètode de comparació no requereix comptar grans ni interceptar. Quan es compara amb una sèrie estàndard de gràfics de classificació, l'avaluació de la mida del gra mitjançant el mètode de comparació generalment presenta un cert grau de desviació (± 0,5 nivells). La reproductibilitat i la reproductibilitat dels valors avaluats solen ser de ±1 nivell.

2. Mètode d'àrea: el mètode d'àrea compta el nombre de grans dins d'una àrea coneguda i utilitza el nombre de grans per unitat d'àrea per determinar la mida del gra. La precisió d'aquest mètode és una funció de la mida calculada del gra, i amb un recompte adequat, es pot aconseguir una precisió de ±0,25 nivells. Els resultats del mètode d'àrea són imparcials, amb una reproductibilitat inferior a ±0,5 nivells. La clau per determinar la mida del gra mitjançant el mètode de l'àrea rau en comptar els grans que delimiten clarament els límits del gra.

3. Mètode d'intercepció: el recompte d'intercepcions es calcula comptant el nombre d'intercepcions on un segment de línia de prova (o quadrícula) de longitud coneguda talla els límits del gra. El grau de mida del gra es determina utilitzant el nombre d'intercepcions per unitat de longitud. La precisió del mètode d'intercepció és una funció del nombre d'intercepcions o intercepcions calculades, i es pot aconseguir mitjançant una anàlisi estadística eficaç. Precisió de nivell ±0,25. Els resultats de la mesura del mètode d'intercepció estan lliures de biaix-i la reproductibilitat i la reproductibilitat són inferiors a un nivell de ±0,5. Per al mateix nivell de precisió, el mètode d'intercepció no requereix un marcatge precís de punts d'intercepció o números d'intercepció, de manera que és més ràpid que el mètode d'àrea.